One Piece Shield
Cirrus Shield (Ceramic Pin)
Inner Shield
Collimator
Cover Ring
Cover Ring
Deposition Ring (Ceramic)
Shutter Disk
One Piece Shield
Cirrus Shield (Ceramic Pin)
Inner Shield
Collimator
Cover Ring
Cover Ring
Deposition Ring (Ceramic)
Shutter Disk

型號： p-06

PVD製程零部件

提升鍍膜穩定性 × 良率

PVD（Physical Vapor Deposition，物理氣相沉積）是一種常見於半導體與精密製造領域的鍍膜技術。其原理為以物理方式將材料蒸發或濺射，轉化為薄膜並均勻覆蓋於晶圓或工件表面，可有效提升表面導電性、耐磨性與防護性能。毅閎科技提供多款 PVD 製程零部件（PVD Parts），確保鍍膜品質、提升良率。

產品項目與應用

  • Shield（防護罩）：避免鍍膜室內壁被材料污染，延長清潔與保養週期。
  • Collimator（整流器）：控制鍍膜粒子的角度分佈，提升薄膜均勻度與方向性。
  • Cover Ring（保護環）：保護晶圓邊緣，避免鍍膜或污染。
  • Deposition Ring（鍍膜環）：控制鍍膜範圍，減少材料浪費。
  • Shutter Disk（快門盤）：在非鍍膜階段阻擋材料，防止污染。
我們可依您的製程需求提供相容的 PVD製程零部件，並支援多款機型與規格。