Curved electrode (Si)
Planar electrode (Si)
Focus Ring (Si)
GND (Si)
QTZ Shield
QTZ Shield
QTZ Disk
QTZ Ring
Curved electrode (Si)
Planar electrode (Si)
Focus Ring (Si)
GND (Si)
QTZ Shield
QTZ Shield
QTZ Disk
QTZ Ring

型號： p-08

Etching製程零部件

Non-Metal Parts｜耐蝕刻環境 × 精密加工

在半導體蝕刻製程中，非金屬零件（Non-Metal Parts）扮演著關鍵角色，能耐受等離子體環境、高溫及腐蝕性氣體，同時維持製程穩定與精準度。毅閎科技提供多樣化的石英（QTZ）與矽（Si）零件，符合嚴苛製程需求，並可依客戶規格精密加工。

產品項目與應用

  • Curved Electrode (矽材質曲面電極)：優化電漿分佈，提升蝕刻均勻性與製程穩定度。
  • Planar Electrode (平面電極設計)：確保電場穩定與蝕刻精準度，提升圖形轉移品質。
  • Focus Ring (矽製集中環)：集中電場並保護晶圓邊緣，有效延長腔體與零件壽命。
  • GND (矽製接地環)：穩定接地設計，維持製程電位平衡並保障運行安全。
  • QTZ Shield(石英保護罩)：耐高溫與腐蝕，避免腔體內部污染。
  • QTZ Insulator(高絕緣性能石英零件)：阻隔導電路徑，確保製程穩定與安全。
  • QTZ Disk (石英圓盤)：用於支撐或隔離關鍵製程部位。
  • QTZ Ring (石英環)：維持腔體氣流與反應均勻性。
我們可依您的製程需求提供相容的 Etch 製程零部件，並支援多款機型與規格。