特用氣體

毅閎科技代理高純度特用氣體（Specialty Gas），專為半導體、光電與精密製程設計，涵蓋電子氣體、混和氣體、金屬有機化合物、精細化學品，應用於前端製程、薄膜沉積、蝕刻與封裝等多元應用需求。配合的原廠具備生產、純化、代理三大服務能力，確保穩定供應與品質一致性。

產品與服務範圍

產品	生產	純化	代理
電子氣體	BCl3 NO COS	NH3 CO2 C3H6	SF6 NF3 BF3 CF4 SIH4 Cl2 N2O HCl HBr CHF3 C2F6 C5F8 C4F8 SIH2Cl2 SIF4 WF6 Ne Xe
混和氣體	PH3/H2, N2, He SiH4/H2, N2, He B2H6/H2, N2 Ne/HCL/H2
金屬有機化合物	TMGa TEGa TMSb TMIn TMA TMSn DEZn DMZn DMSe
精細化學品	GaCl3 Ga(NO3)3 InCl3

我們可依您的製程需求提供特用氣體規格與應用。